基于MEMS技术U形悬臂梁制作工艺研究及特性模拟

摘要：

针对在<100>硅片上采用EPW各向异性腐蚀液制作U形悬臂梁工艺进行研究.因各向异性腐蚀使(111)侧面相交的凸角处出现一些腐蚀速率较高的晶面,使U形悬臂梁凸角掩模下的硅受到侧向腐蚀.对(111)侧面相交的凸角处出现一些腐蚀速率较高的晶面进行掩模补偿,实验制作出300μm×1200μm的U形悬臂梁.在此基础上,对相同尺寸U形悬臂梁和矩形悬臂梁采用ANSYS软件进行特性模拟,给出其应力分布的模拟结果.

关键词：EPW腐蚀液、U形悬臂梁、微电子机械系统、ANSYS软件

所属期刊栏目：25

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2019-09-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：81-84