多层状结构声表面波扭矩传感器研究

摘要：

扭矩传感器是监测工程机械工作状态的重要部件,尤其对保证旋转机械及轴体的安全运行起着至关重要的作用.本文利COMSOL有限元仿真软件建立叉指换能器/铌酸锂/金刚石/硅的多层状结构仿真模型并进行特征频率与频域分析.通过仿真分析与实验结果表明:与现有石英单晶体制备的声表面波扭矩传感器相比,多层状结构的声表面波扭矩传感器波长更小、体积更小、特征频率可以达到2 GHz,机电耦合系数为5,扭矩灵敏度高,输出频率线性度好,完全适用于扭矩测量系统.

关键词：声表面波;多层状结构;有限元分析;参数优化;扭矩传感器

所属期刊栏目：37

分类号：S776.22(森林工程、林业机械)

资助基金：中央高校基本科研业务费专项资金项目;中央高校基本科研业务费专项资金项目

在线出版日期：2022-01-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：74-81