Ti靶电流对CrTiAlN涂层摩擦磨损性能的影响

摘要：

在不同Ti靶电流下,采用非平衡磁控溅射技术在SDC99冷作模具钢表面制备CrTiAlN涂层.采用X射线衍射仪、原位纳米力学测试系统和摩擦磨损试验机等测试分析了Ti靶电流对涂层的相结构、力学性能及摩擦磨损性能的影响.结果 表明:随着Ti靶电流的增加,涂层的厚度及Ti含量呈非线性增加,涂层的纳米硬度与弹性模量分别增至26.08与302.86 GPa,Cr(Ti,Al)N涂层均为单相fcc结构;在Ti靶电流4A下沉积的涂层的摩擦磨损性能最好,干摩擦因数和磨损率分别为不合Ti涂层的69.77％和65.31％;油磨26 h后磨损率为不合Ti涂层的25.67％,磨损机制为磨粒磨损与疲劳磨损的综合.

关键词：Ti靶电流、冷作模具钢、CrTiAlN涂层、摩擦磨损

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在线出版日期：2019-06-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：76-80,85