电子特气中痕量水分测量方法

摘要：

针对电子特气中痕量水分的测量，设计了一套稳定可靠的气体取样系统。并对两种新的电子特气水分测量方法（石英振荡法和光腔衰荡法）及其代表性仪器进行研讨。两种分析方法及取样系统均适用于大多数电子特气，有效地保证了水分测量结果的准确可靠。

关键词：电子特气、痕量、水分、测量方法、取样系统

分类号：TQ2;TN9

在线出版日期：2013-11-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：28-30