扫描电子显微镜

摘要：

@@ 随着科学技术的发展进步,人们不断需要从更高的微观层次观察、认识周围的物质世界.细胞、微生物等微米尺度的物体直接用肉眼观察不到,显微镜的发明解决了这个问题.目前,纳米科技成为研究热点,集成电路工艺加工的特征尺度进入深亚微米,所有这些更加微小的物体光学显微镜也观察不到,必须使用电子显微镜.电子显微镜可分为扫描电子显微镜简称扫描电镜(SEM)和透射电子显微镜简称透射电镜(TEM)两大类.

机标关键词：透射电子显微镜、扫描电子显微镜、光学显微镜、物质世界、物体、微米尺度、透射电镜、特征尺度、深亚微米、扫描电镜、肉眼观察、纳米科技、科学技术、集成电路、工艺加工、直接用、微生物、层次观、细胞、发明

所属期刊栏目：30

分类号：TB9(计量学)

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：37-39