随角异色光子晶体薄膜的制备与FDTD模拟

摘要：

具有随角异色性能特征的光子晶体正逐渐成为较好的光学防伪薄膜材料. 采用时域有限差分(finite difference time domain, FDTD)法研究光子晶体的光调制特性, 以空气柱形2维光子晶体为研究对象, 通过光学仿真分别模拟了不同孔洞直径、孔洞间隙的2维光子晶体的反射光谱.结果发现,孔洞直径为800 nm、间隙为800 nm、深度为400 nm的2维光子晶体具有较好的随角异色特征. 采用磁控溅射法进行了在Si衬底表面制备Cr-SiOx双层膜结构的实验,并利用光刻法制备了相应的光子晶体,实验结果与模拟结果匹配.

关键词：光子晶体、角度异色、时域有限差分

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分类号：O734(晶体物理)

资助基金：上海市教委科研创新基金重点资助项目13YZ001;上海市自然科学基金资助项目18ZR1415600;上海市高校青年教师培养资助计划ZZSD16011

在线出版日期：2018-08-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：422-429