(TA)5T结构TiO2/Ag组装薄膜的制备及其性能

摘要：

采用磁控溅射法制备了不同Ag含量的(TA)5T结构的TiO2/Ag组装薄膜,并研究了薄膜的结构及其性能.利用X射线衍射(X-ray diffraction,XRD)仪分析了薄膜的物相结构,扫描电子显微镜(scanning electron microscope,SEM)观察了薄膜的表面形貌,用紫外可见分光光度计(ultraviolet-visible spectrophotometry,UV-VIS)研究了薄膜的吸收光谱,采用Keithley 2400测试了薄膜的Ⅰ-Ⅴ曲线,计算了薄膜的电阻率.结果表明:在N2气氛中500℃退火60 min,制备得到的(TA)5T结构TiO2/Ag组装薄膜中的TiO2呈锐钛矿相,并且随着Ag含量的增加,TiO2晶粒变大;分布在组装薄膜表面的Ag纳米颗粒形状不规则、大小不统一且分布不均匀;与纯TiO2薄膜对比,(TA)5T组装薄膜的吸收边蓝移,出现了表面等离子体共振(surface plasmon resonance,SPR)吸收峰,旦其电阻率随着Ag含量的增加而减小,并可通过调节Ag层厚度来调控Ag含量,从而调控等离子体共振峰的峰位.

关键词：TiO2/Ag组装薄膜、磁控溅射法、Ag含量、表面等离子体共振

所属期刊栏目：22

分类号：TB321;TB33(工程材料学)

资助基金：上海市科委科技基金资助项目15JC1400303

在线出版日期：2017-02-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：719-726