正交相二氧化锡薄膜的制备与性能

摘要：

二氧化锡(SnO2)的一种晶体结构——正交相是高温高压相,不易合成,因此,其性质探测和技术应用研究一直停滞不前.利用脉冲激光沉积(pulsed laser deposition,PLD)技术,在相对较低压力和较低温度下制备较纯的正交相SnO2薄膜.实验结果表明,这种正交相SnO2薄膜的透明度优于常规四方相SnO2,其半导体带隙大于四方相SnO2.

关键词：二氧化锡SnO2、正交相、薄膜、脉冲激光沉积

所属期刊栏目：19

分类号：TU411(土力学、地基基础工程)

资助基金：国家自然科学基金资助项目11025526,41073073;上海市重点学科建设资助项目S30109;上海市科委基金资助项目10JC1405400,09530501200

在线出版日期：2013-04-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：95-99