压电薄膜微机电加速度传感器的力学分析

摘要：

基于压电薄膜的压电效应,研究压电薄膜微机电加速度传感器.对双层压电薄膜微机电加速度传感器进行静力分析,得到传感器方程,并进行数值计算.结果表明,随着压电薄膜厚度的增大,灵敏度随之增大,在一定厚度下达到最大值,随着厚度的进一步增大,灵敏度反而减小.然后进行动力分析,得到噪音、质量因子、最小可测信号等技术参数,并进行了数值计算.运用ANSYS软件进行谐响应分析,得到不同频率下结构的动力响应曲线.

关键词：微机电加速度传感器、压电效应、压电薄膜、灵敏度

所属期刊栏目：15

分类号：O313(理论力学（一般力学）)

在线出版日期：2010-03-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：621-627