纳米致动器研究现状与工程应用的进展

摘要：

纳米致动器是能够以0.1～100 nm的步距驱动或移动被控对象的各种装置或器件.根据特征尺寸分为毫米尺度以上的宏机械纳米致动器、制作在芯片上的微米尺度纳米致动器及分子尺度的纳机械致动器,它们的共同特征是可以实现纳米级精度的机械驱动和定位.该文综述了纳米致动器国内外研究状况和主要研究成果,特别对近几年出现的典型的微机械纳米致动器的驱动机理进行了分析,讨论了纳米致动器在工程实际中的应用,指出了其发展的关键技术、存在问题及未来发展前景和趋势.

关键词：纳米致动器、微机械致动器、微尺度、微机电系统、纳机械

所属期刊栏目：12

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2006-04-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：150-157