感性可调MEMS电容性膜开关的微波等效模型分析

摘要：

通过对感性可调MEMS电容性膜开关等效电路模型的电磁特性分析,建立了开关的"关"态谐振频率选择模型和"开"态阻抗匹配模型.从微波等效电路的角度提出高性能感性可调MEMS电容性膜开关的设计方法,同时给出了基于这两种模型设计X波段MEMS开关的"关"态隔离度与"开"态反射损耗的电路仿真结果,与高频电磁场全波仿真结果吻合较好,具有较高的实际应用价值.

关键词：微机械电子系统、电容性膜开关、共面波导、电磁特性

所属期刊栏目：12

分类号：TN4;TN713(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：上海市应用材料研究与发展基金

在线出版日期：2006-04-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：111-115