硅衬底CMOS射频集成电路中金属厚度对平面螺旋电感Q值的影响

摘要：

该文着重分析金属线厚度对Q值的影响.为此设计了三组电感,它们的金属线厚度分别为5、10和20μm,并用Ansoft HFSS软件进行FEM(finite element method)的仿真.仿真的结果表明,金属线厚度对电感Q值的影响在很大程度上取决于电感内径的大小.因此当金属线厚度超过10μm时,通过进一步增加金属线厚度来改善Q值仍是可能的.

关键词：平面螺旋电感、金属线厚度、串联电阻、Q值、RF集成电路

所属期刊栏目：11

分类号：TN4(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2005-11-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：455-459