光栅莫尔条纹信号质量的提高及其采集方法

摘要：

基于对光栅线性传感器(DPROS)和2 m光栅检刻机检测系统的研制,该文叙述了一种获取高质量光栅莫尔条纹信号的设计方法,并在数字式量仪的系列开发中得到应用验证.

关键词：传感器、数字式量仪、光栅检测机

所属期刊栏目：10

分类号：TH39(泵)

在线出版日期：2004-06-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：129-132