蓝宝石化学机械抛光液作用机制研究

摘要：

研究了以硅溶胶为磨料的蓝宝石化学机械抛光液在抛光过程中的作用机制。表征了抛光液在单次抛光及循环抛光前后的pH 值、密度、粘度、固质量分数、zeta 电位、粒径分布、金属元素浓度、大颗粒数目以及二氧化硅颗粒的形貌变化等。结合抛光前后离心液上清液的金属元素质量分数与沉淀物红外光谱图，发现在抛光过程中蓝宝石与二氧化硅颗粒表面发生固-固相反应，生成硬度较小的硅铝酸盐，促进蓝宝石表面的化学抛光。通过分析重复使用的抛光液对去除速率和表面质量的影响，进一步确认蓝宝石化学机械抛光液中氧化硅与氧化铝的固-固作用机制。

关键词：化学机械抛光(CMP)、蓝宝石、机制

分类号：TM201.4+6(电工材料)

资助基金：信息功能材料国家重点实验室开放课题项目资助

在线出版日期：2013-10-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：187-196