创新技术在建筑施工中的应用(5)
@@ 2.6 芯片厂防微振关键技术
2.6.1 理论发展与关键技术
集成电路生产过程中,由于线宽尺寸越来越小,受制于环境的因素也越来越多,微振动问题是集成电路生产厂设计与施工中需要解决的一个重大问题.
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TU74(建筑施工)
2009-04-03(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
112-116
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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