基于局部临近标准化的FD-KNN故障检测

摘要：

针对方差相差大的多模态故障诊断数据问题,提出一种基于局部临近标准化(local nearest neighborhood standardization,LNNS)的k近邻故障检测方法(fault detection-k-nearest neighbor rule,FD-KNN).首先,计算每个样本的局部近邻,采用近邻特征实现标准化,克服传统标准化方法Z-score将多模态数据看成一个整体而使数据不准确问题;其次,计算每个样本间距离,建立局部临近标准化距离模型,通过临近距离确定控制限.最后,在半导体生产过程中进行仿真应用研究,通过实验结果的比较与分析表明了所提方法的有效性.

关键词：多模态、局部近邻、k近邻、故障检测

所属期刊栏目：36

分类号：TP277(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金项目61673279,61490701;辽宁省教育厅重点实验室项目LZ2015059,510.99;辽宁省教育厅一般项目L2015432

在线出版日期：2017-08-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1-6