热压印脱模工艺中摩擦系数影响的研究

摘要：

压印胶层纳米结构在热压印脱模工艺中的变形关系到纳米器件质量的高低.为了提高纳米器件的质量,研究脱模过程中模板和压印胶之间的接触特性至关重要.采用模型优化、数值模拟和理论分析相结合的方法研究摩擦系数对胶层纳米结构受力和变形的影响,得到摩擦系数增大时von-Mises应力云图和胶层纳米结构顶端变形曲线.分析应力云图可得胶层纳米结构的最大应力和变形在脱模初期随摩擦系数增大而增大,在脱模后期随摩擦系数增大而减小,并从压印胶受力角度对胶层纳米结构顶端变形进行解释.对比顶端变形曲线可得Ni-PTFE模板最佳摩擦系数为0.20,Ni-PTFE模板最优化PTFE含量为15 g/L.通过最佳接触特性对模板进行优化可以减少胶层纳米结构变形,提高纳米器件质量.

关键词：热压印、脱模、摩擦系数、纳米结构、变形、数值模拟

所属期刊栏目：35

分类号：TN405(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：山东省“泰山学者”建设工程专项资金项目TSHW20130956

在线出版日期：2016-07-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：73-77