10.3969/j.issn.1672-3767.2008.05.020
N-羟基-3,6-内氧桥-4-环己烯二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯的合成及性能研究
以马来酸酐、呋喃、盐酸羟胺和时甲苯磺酰氯为起始原料,合成了一种新的非离子型产酸剂N-羟基-3,6-内氧桥-4-环己烯二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯,优化了中间产物的合成条件,通过红外表征测定了中间产物和最终产物的化学结构;测定了产物在常用有机溶剂中的溶解性,并通过紫外表征测定了其紫外吸收性.实验结果表明,该产物在常用有机溶剂中具有良好的溶解性,并在248 nm波长处有好的透明性,可用于248 nm先刻工艺体系.
酰亚胺、苯磺酸酯、产酸剂
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O69(应用化学)
广东省科技攻关项目2006B11801004
2009-03-10(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
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