10.3969/j.issn.1672-3767.2003.z1.029
TiO2:MgF2薄膜的湿敏特性
采用真空镀膜技术制备了TiO2:MgF2薄膜湿敏元件,仔细研究了薄膜湿敏元件的感湿特性.结果表明:工作频率为100Hz时,该元件在全湿度范围内具有良好的阻抗-湿度特性,感湿特性曲线线性良好;元件具有灵敏度高,滞后小,响应快,长期稳定性好等优点.
湿敏、薄膜、二氧化钛
22
TN304;TP212(半导体技术)
国家自然科学基金20273014;福建省教育厅科研项目JAO21138
2004-08-06(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共2页
70-71