ITO/Ag/ITO透明导电膜性能研究进展

摘要：

复合型透明导电膜 ITO/ Ag/ ITO 是一种极具发展潜力的高性能透明导电膜，其导电性远高于传统透明导电材料氧化铟锡（ITO），同时可大幅节约 ITO 膜中的稀缺元素 In。文章阐述了 ITO/ Ag/ ITO 复合膜的设计原理及其设计中存在的问题，分析了 ITO/ Ag/ ITO 结构中底层 ITO 膜、外层 ITO 膜和 Ag 膜在膜系结构中的作用及其对 ITO/ Ag/ ITO 光学和电学性能的影响，阐明了 Ag 膜对 ITO/ Ag/ ITO 光学和电学性能的决定性作用，综述了对Ag 膜进行退火处理、添加其他金属元素、引入超薄层等提高 Ag 膜沉积质量和性能的方法，展望了高性能 ITO/Ag/ ITO 复合透明导电膜今后的研究方向。

关键词：透明导电膜、ITO/Ag/ITO、Ag 膜、导电性、透过率

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

资助基金：山东省引进国外智力项目L37002013098；济南市高校院所自主创新计划项目201303067

在线出版日期：2015-09-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：376-381