Er+注入Yb掺杂的ZnO波导膜的光学及结构特性研究

摘要：

利用射频磁控溅射技术在蓝宝石衬底上沉积ZnO∶Yb光波导薄膜,然后用离子注入技术将能量为200keV的Er+离子注入薄膜中,剂量为1×1015 ions/cm2.应用棱镜耦合技术、卢瑟福背散射(RBS)技术、X射线衍射(XRD)技术和荧光光谱等技术研究了薄膜的波导性质、基本结构、厚度、组分、Er+的射程情况及光学频率上转换性质.实验发现掺杂Yb和Er的薄膜可以形成光波导结构,但波导质量较纯ZnO波导膜差,膜的有效折射率及沉积速率随Yb掺杂量增加有减小趋势；薄膜呈ZnO高度c—轴取向生长,Yb和Er能有效掺杂进ZnO晶格,ZnO晶格常数受Yb掺杂量的不同而变化；在980nm激光激发下没有发现在300-720nm间的光学频率上转换.

关键词：离子注入、掺杂、ZnO、光波导、Er、Yb

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分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金项目51042002;山东省自然科学基金项目2009 ZRB019DZ

在线出版日期：2012-10-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：262-266,275