在蓝宝石、MgO衬底上ZnO波导膜的制备

摘要：

以ZnO烧结陶瓷为靶材,应用射频磁控溅射技术在(001)蓝宝石、(100) MgO衬底上制备ZnO波导薄膜.利用棱镜耦合、X射线衍射、RBS背散射分析等技术研究了所沉积薄膜的光波导及内部结构信息.结果表明:在两种衬底上所沉积的ZnO薄膜可以形成优良的平面光波导结构；薄膜结晶状况为存在少量其他晶向的c轴择优取向；薄膜含有的Zn及O组分原子数比例为近化学计量比；薄膜的沉积速率受衬底材料表面能作用轻微影响；薄膜的有效折射率较ZnO体材料小H受衬底材料影响.生长在蓝宝石衬底上ZnO薄膜的平均晶粒尺寸较在MgO衬底上的小,且其随膜厚的增加无明显变化,但在MgO衬底上晶粒尺寸则随膜厚的增加有增大趋势.

关键词：磁控溅射、蓝宝石、MgO、ZnO薄膜、波导膜

所属期刊栏目：26

分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金项目51042002;山东省自然科学基金项目2009 ZRB019DZ

在线出版日期：2012-04-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：411-415