激光干涉仪原理与应用研究

摘要：

激光干涉仪已成为精密机床线性测量与补偿的基准,本文以雷尼绍ML10激光干涉仪线性测量为例,从激光干涉仪测量原理分析入手,得出测量距离与波长和脉冲数之间的关系.叙述了环境因素对测量因素的影响,针对具体线性测量指出其定位精度和重复定位精度计算公式.并指出了在测量过程中应注意的问题.

关键词：激光干涉仪、线性测量、波长、补偿、定位精度

资助基金：陕西省军民融合基金研究项目16JMR04;渭南师范学院院级科研项目17YKF05

在线出版日期：2018-09-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

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