多层介质结构中叉指电极的平面电容特性

摘要：

叉指电极的应用比较广泛,尤其是用作各类传感器的电极.本文给出了一种叉指结构电极电容的计算方法,可以针对多介质结构的电场进行计算,提高了计算精度.在理论分析计算的基础上,针对不同参数的介质结构的叉指电极电容进行了比较,在进一步通过ANSYS仿真的结果与实验数据进行比较,结果较好地验证了此计算方法的正确性.

关键词：传感器、叉指电极、多介质结构、计算方法

分类号：TB3;O22

在线出版日期：2017-10-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：146,42