单晶硅辐照退火装置温控系统设计与应用

摘要：

本文依据单晶硅辐照退火工艺要求,针对退火装置温度控制的要求,设计一套温度控制系统,采用自适应模糊PID温度控制技术实现高精度的温度自动控制;设计相应的安全联锁电路以保证退火过程的安全性和有效性;通过对升温速率、恒温定值、恒温时间等参数的设置与修改,满足不同的温度控制要求,具有灵活的适用性,可广泛应用于相关的温控工艺中.经过系统调试与运行,调试结果满足使用要求,确保退火装置安全、可靠的运行和任务的完成.

关键词：温度控制、PID控制、单晶硅

分类号：TL8;TG3

在线出版日期：2017-03-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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