10.16640/j.cnki.37-1222/t.2016.07.025
h-BN和石墨烯薄膜在AlN衬底的导热增强效应
通过磁控溅射和化学沉积方法在AlN衬底上分别制备六方氮化硼和石墨烯薄膜,利用Raman、SEM对薄膜物相和形貌进行表征,并使用激光导热测定仪进行导热系数测定。实验结果表明,石墨烯能有效提高基底的导热性能,为石墨烯散热提供有效数据。
磁控溅射、六方氮化硼薄膜、石墨烯、导热系数
TU5;TB3
2016-05-04(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共2页
27-28