金刚线切割硅材料废液中的硅粉回收方法

摘要：

本文提出一种从金刚线切割硅材料废液中回收硅粉的方法,采用的是用微孔材料进行物理过滤的方法,既能回收硅粉,又能使过滤后的切割液重新循环利用,环保而经济.

关键词：切割悬浮液、过滤、硅粉、回收

分类号：TN3;TG7

在线出版日期：2015-07-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：21-22