氢化锂薄膜防水解技术的研究

摘要：

运用磁控溅射方法溅射在贴有聚乙烯膜的硅片上沉积氢化锂薄膜,并在氢化锂薄膜的表面沉积不同厚度的铝膜.采用x射线衍射和红外光谱测试,分析研究了不同厚度铝膜对防止氢化锂薄膜分解所起的作用.研究结果表明,随着铝膜厚度的增加,氢化锂薄膜与水或CO2反应变质的几率越小,铝膜厚度为55 nm时,样品测试结果显示铝膜对氢化锂薄膜起到了一定的保护作用,延缓了氢化锂薄膜与空气中水和CO2等杂质的反应.

关键词：铝薄膜、氢化锂薄膜、水解、磁控溅射

所属期刊栏目：29

分类号：O484.5(固体物理学)

资助基金：四川省教育厅青年项目11ZB033;西华师范大学重大探索性项目14C005

在线出版日期：2016-06-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1-4