RF MEMS并联开关的结构设计及分析

摘要：

针对传统的RF MEMS开关的开关速度慢、寿命短、功率处理能力低等缺点,设计了一种新的RF MEMS并联开关结构.这种结构不仅能提高开关速度和开关寿命,还能防止粘附和介质击穿问题.首先介绍了RF MEMS并联开关的结构设计,以及如何根据需要确定合理的尺寸;然后利用Coven-torWare软件对开关进行了静态特性分析和动态特性分析,重点分析了开关的吸合电压;最后利用Saber系统仿真法分析了改变开关的不同结构尺寸对吸合电压的影响.

关键词：RF MEMS、并联开关、特性分析、吸合电压

所属期刊栏目：28

分类号：TM564.6(电器)

资助基金：国家863项目2015AA042701

在线出版日期：2016-02-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：63-67