利用金相显微镜焦平面测量微米级膜层厚度

摘要：

介绍了一种利用金相显微镜聚焦面测量各种涂/镀层厚度的方法.将实验样品的覆膜面打磨成斜面后平放在金相显微镜样品台上,分别对膜层的两个界面对焦,从对焦旋钮上读出两焦面的高度差即为膜层的厚度.本方法可用于各种微米量级的单一膜层和多层复合膜的测厚,在测厚的同时可以观察和分析膜层的显微结构.尤其适用于各种涂/镀膜实验样品的研究分析.

关键词：测厚、金相显微镜、膜层

所属期刊栏目：19

分类号：TH742.4(仪器、仪表)

在线出版日期：2006-06-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：108-110