10.3969/j.issn.1673-1549.2006.02.027
正性小分子光刻胶的制备探索
以硬脂酸、邻硝基苄醇为原料,合成了硬脂酸邻硝基苄酯,并在高压汞灯下曝光、显影,证明了以邻硝基苄醇作为光敏基元制备正性小分子光刻胶的可行性.
硬脂酸、邻硝基苄醇、正性小分子光刻胶
19
TQ59
2006-06-05(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
105-107
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10.3969/j.issn.1673-1549.2006.02.027
硬脂酸、邻硝基苄醇、正性小分子光刻胶
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TQ59
2006-06-05(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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