硬质合金高温化学气相沉积TiC涂层工艺研究

摘要：

采用高温化学气相沉积在YG8基体上制备TiC涂层,研究沉积温度、沉积时间、H2流量、H2/CH4(流量比)以及TiCl4流量对镀层的抗弯曲强度、膜基结合力及表面显微硬度的影响,并通过正交试验优化工艺参数。结果表明：当沉积温度为1000℃,沉积时间为90 min,H2流量为400 ml,H2/CH4(流量比)为15∶1,TiCl4流量为80 mL时,镀层具有优良的性能,抗弯曲强度达到1100 N,表面显微硬度达到3228 HV,膜基结合力达到90 N。

关键词：碳化钛、化学气相沉积、硬质合金

分类号：TG722(刀具、磨料、磨具、夹具、模具和手工具)

资助基金：科技部重大专项2009ZX04012-23;四川省特种材料及制备技术重点实验室资助项目。

在线出版日期：2015-07-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：97-101