掺铝氧化锌复合粉体制备工艺对靶材性能的影响

摘要：

以Zn(NO3)2·6H2O、Al(NO3)3·9H2O为前驱体,柠檬酸为络合剂,采用溶胶-凝胶法制备了掺铝氧化锌复合粉体,并通过普通烧结制备出掺铝氧化锌靶材,对制备的靶材进行测试试验,结果表明:采用两倍于金属离子摩尔浓度的柠檬酸为络合剂、pH为7.2、干燥温度为90℃时,所制备靶材的致密度及电学性能有较优值,与固相反应法相比,该靶材的性能更好,成分更均匀.

关键词：溶胶-凝胶法、AZO陶瓷靶材、合成工艺

所属期刊栏目：30

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

在线出版日期：2011-08-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：53-56