双同心圆光栅二维平面位移测量术

摘要：

通过对两个同心圆光栅干涉产生莫尔条纹过程的分析,提出了一种测量二维平面位移的方法.首先,建立了两个同心圆光栅的数学模型,通过对莫尔条纹图进行低通滤波,提取出纯莫尔条纹.其次,利用傅里叶级数变换,相位分析计算出两同心圆圆心之间的偏心角和偏心距.同时讨论了噪声对测量精度的影响.计算机模拟实验结果证明,该方法具有较高的测量精度.当偏心距在20个像素以内时,偏心角测量最大误差小于0.002弧度,偏心距测量最大误差小于0.04个像素,且有较好的抗噪性.

关键词：同心圆光栅、莫尔条纹、位移测量、Talbot自成像

所属期刊栏目：45

分类号：O438(光学)

资助基金：国家自然科学基金60527001

在线出版日期：2008-06-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：301-306