He+注入诱生微孔对金吸除作用的研究

摘要：

高注量的氦注入硅中并经热处理所形成的微孔,对金属原子的吸除作用已为大量的研究所证实.作者报道了该技术应用于平面二极管中对金杂质吸除的研究.其结果表明,在粗糙研磨表面上形成的氦诱生微孔,同样具有良好的吸除效果.

关键词：微孔、金、吸除、反向漏电流

所属期刊栏目：40

分类号：O571.33;O474(原子核物理学、高能物理学)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：86-89