基于激光干涉测量的高频液体正弦压力校准

摘要：

在装置设备研制与工程应用中会使用大量动态压力传感器进行评估与测试,为了提高测量精度和数据可靠性,针对动态压力传感器的幅值灵敏度在高频率正弦压力校准中的量值溯源问题,提出一种基于激光干涉技术测量液体介质折射率随压力改变的方法用于高频液体正弦压力校准装置.利用压电叠堆效应和管腔谐振原理,可以驱动液体介质产生频率高达30 kHz的正弦压力信号,根据洛伦兹-洛伦茨理论建立压力与液体光程的数学模型,利用激光干涉仪测量液体中光程改变,得到正弦压力幅值大小,使正弦压力幅值可以得到溯源.结合实际校准过程,对压力分布不均、温度变化、结构形变、振动等影响因素进行了理论研究与实验分析,并利用基于激光干涉测量的高频液体正弦压力校准装置开展对动态压力传感器幅值灵敏度校准不确定度的完整评估.结果 表明:激光干涉法高频液体正弦压力校准装置的正弦压力幅值覆盖范围0.01～1.00 MPa,静态压力环境可以实现0～10MPa,在频率范围1～30 kHz下幅值灵敏度校准的扩展不确定度在7.6％以内.

关键词：正弦压力、激光干涉测量、动态校准、压力传感器、折射率

所属期刊栏目：52

分类号：TB935(计量学)

资助基金：国家“十三五”技术基础项目;国家自然科学基金项目

在线出版日期：2020-10-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：216-222