相位测量轮廓术中一种快速的系统标定方法

摘要：

传统的系统标定和相位测量是分开进行的,所测量的是物体相对于参考面的高度.提出一种快速的系统标定方法,用块规代替传统方法中由机械移动装置控制的标准平面,在块规表面采样标定点完成系统标定,实现系统标定与待测物相位测量的同步进行；当待测物支撑面与参考面不重合时,依然能准确测量物体相对支撑面的高度.对一高度为14.00 mm的立方块测量的结果显示,当其支撑面相对参考面发生纵向移动或倾斜时平均相对误差不高于1.35％,均方差小于0.15 mm.该方法简化了标定过程,在实际应用中更具普适性.

关键词：相位测量轮廓术、相位高度映射、系统标定、3维面形测量、快速

所属期刊栏目：45

分类号：TN206;O438.2(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家科技重大专项2009ZX02204-008;国家"863"计划资助项目2007AA01Z333;四川省学术和技术带头人培养基金资助项目07GRC-01;湖北省教育厅自然科学研究资助项目B201001203

在线出版日期：2017-01-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：164-168