薄膜型金刚石辐射剂量计的光电性能

摘要：

金刚石具有宽禁带、强抗辐射性、与人体软组织接近的原子序数等一系列高质量辐射剂量计所需的性质,正日益受到关注.采用微波等离子体在不同条件和不同制备方法下合成金刚石薄膜,并制作出三明治结构的辐射剂量计.研究金刚石薄膜辐射剂量计的暗电流-电压特性,X光电响应特性及响应动力学.暗电流I-V特性测试结果表明,此剂量计具有欧姆特性.X光电响应测试结果表明,膜的取向和纯度是影响辐射剂量计X光响应灵敏度的主要因素.在纯度相近的情况下,[100]取向膜做成的器件X光响应灵敏度高于[111]取向膜;在同一取向下,纯度越高,灵敏度越高,"Priming"效应越弱.剂量计响应电流与辐射剂量间有较好的线性关系.通过标校后此金刚石薄膜剂量计能用于辐射剂量的定量检测.

关键词：金刚石薄膜、辐射剂量计、光电流、灵敏度

所属期刊栏目：37

分类号：TB34;TL816.1(工程材料学)

资助基金：国家自然科学基金10275046

在线出版日期：2005-11-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：102-106