化学池沉积法制备CdS多晶薄膜及其性质

摘要：

采用化学池沉积(CBD)法,在3种不同衬底(玻片、ITO玻片、SnO2玻片)上沉积制备CdS多晶薄膜,并利用扫描电镜(SEM)、透射光谱、X射线衍射(XRD)和微电流高阻计等方法对沉积膜进行了测试分析,算出了CdS多晶薄膜的能隙宽度E0和电导激活能Ea,研究了CBD法中CdS多晶薄膜的生长沉积机制以及不同衬底对沉积效果的影响.结果表明:不同衬底的成膜效果差异较大,其中以SnO2玻片为衬底的沉积效果最佳.

关键词：CdS多晶薄膜、化学池沉积(CBD)法、太阳电池

所属期刊栏目：36

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金50076030;国家高技术研究发展计划863计划2001AA513010;国家重点基础研究发展计划973计划G2000028208

在线出版日期：2004-05-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：49-52