内表面粗糙度测量仪

摘要：

应用光散射原理,采用半导体激光器做光源,光纤准直、光电二极管阵列接收信号,A/D模数转换,单片机计算结果的内表面粗糙度测量仪,可无接触测量复杂形状工件的内表面,测量速度快,分辨率高,仪器体积小,且测量精度高.

关键词：内表面粗糙度、光散射、半导体激光器、光纤准直

所属期刊栏目：32

分类号：TH71(仪器、仪表)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：45-47