激光干涉法位移测量集成演示装置的设计

摘要：

介绍了激光干涉法长度测量的基本原理,提出在不更换和调整系统中光学器件的条件下,实现线位移和角位移-机测量集成装置的设计思想.该装置结构简单,操作方便,既可直接观察条纹变化情况,又能显示出具体的测量值.

关键词：激光干涉、长度测量、角度测量、集成测量

所属期刊栏目：32

分类号：TH873.7

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：109-111