MEMS万向开关加工误差分析

摘要：

为了研究加工误差对万向开关响应阈值的影响，推导出了惯性开关响应阈值的计算公式，带入设计参数值计算得到的结果为391 g，对样品开关的实际响应阈值进行了冲击台跌落试验，实验结果220 g，误差－43．7％。对影响响应阈值的各项尺寸进行测量，其中S型悬臂梁的线宽B误差最明显，测量值26．4μm，小于设计许可值30μm，误差为－12％，由阈值公式，该误差引起的响应阈值误差高达－30％。最终得出结论，由于S型悬臂梁的线宽B尺寸较小，加工时容易产生较大误差，悬臂梁的刚度与线宽B的立方成正比，因此线宽B是影响开关响应阈值的主要因素。

关键词：MEMS、万向开关、响应阈值、尺寸测量、加工误差

所属期刊栏目：37

分类号：TJ430(弹药、引信、火工品)

在线出版日期：2016-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：110-113