亚波长二维光栅结构零级透射场的计算方法

摘要：

基于散射度量术中测量掩膜版时对零级透射率波谱的计算需求，将需要阶梯近似分层的复杂二维光栅统一模型化为多层二维光栅，建立了多层二维光栅零级透射场计算方法；将 Moharam 传输矩阵法的部分解法推广到一般复杂二维光栅结构，实现对多层或者非垂直侧壁结构透射场的逐层迭代计算；对一种亚波长二维金属光栅阵列结构进行了宽谱光源入射下的透射特性仿真计算；结果表明：结合二维光栅模拟的收敛性改进算法，建立的计算方法能实现对复杂二维光栅透射率波谱的求解。

关键词：衍射、光栅、严格耦合波分析、传输矩阵法、散射度量术

分类号：O436(光学)

资助基金：国家重大基础研究发展计划项目2014CB340202；国家自然科学基金项目11272336

在线出版日期：2016-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：155-159