高冲击下加速度计需测频率上限研究

摘要：

为了使爆炸、金属碰撞等高冲击环境中使用的加速度计不会发生谐振,应使其谐振频率足够高,如Endevco公司设计的MEMS硅基压阻式加速度计(7270A-200K)的谐振频率可达1.2 MHz(幅值可达20万G);然而在这些强动载荷作用下,由于这种加速度计的阻尼很低,超量程和加速度计敏感元件的破坏仍时有发生;鉴于高G值冲击测量中输入信号的频率上限常常在100 kHz以上,研究加速度计测量结果的频率响应,从不同方面进行论证给出加速度计需要测量的频率上限,研究结果对开发更可靠的MEMS加速度计具有重要意义.

关键词：高冲击、加速度计、频率响应

所属期刊栏目：35

分类号：O34(固体力学)

资助基金：中国博士后基金2012M511943;科技部重大专项2012ZX04007-021

在线出版日期：2014-05-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：138-140