真空退火炉软水冷却系统改造方案设计

摘要：

板材卧式真空退火炉作业时,设备要求扩散泵及电极冷却水回水温度≤55℃,但实际冷却水回水温度会持续上升,不能满足设备安全使用要求,存在安全隐患.研究分析真空退火炉升温工艺,设计一种有效实验方法,对冷却水系统的水温、流量进行测试,并对测试数据进行比对分析,采用理论计算与实际测算相结合的方法,设计计算出电极及扩散泵冷却循环系统的制冷功率.

关键词：冷却系统、方案设计、测试记录、升温功率

分类号：TQ085(一般性问题)

在线出版日期：2023-08-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：130-134