10.16621/j.cnki.issn1001-0599.2023.06.26
真空镀膜机电子束蒸发器工作原理及故障处理
根据Leybold真空镀膜机电子束蒸发器的工作原理,结合实际维修经验,分析电子束蒸发器常见故障的成因,梳理排查步骤及解决措施,总结蒸发器日常使用中的注意事项.
真空镀膜机、电子束蒸发器、故障处理
TN305.8(半导体技术)
2023-07-05(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共2页
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真空镀膜机、电子束蒸发器、故障处理
TN305.8(半导体技术)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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