10.16621/j.cnki.issn1001-0599.2022.07.21
大束流离子注入机常见故障分析与维修
应用材料(AMAT)9500注入机是当前国内半导体6吋线、8吋线主流大束流机型,占据着重要地位.介绍大束流9500注入机的基本结构及工作原理,并结合实际分析和探讨注入机常见故障提出多种维修措施,为相关人员提供故障维修依据.
注入机、故障、维修
TN305(半导体技术)
2022-11-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共2页
47-48
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注入机、故障、维修
TN305(半导体技术)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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