单晶炉冷却水状态的监测报警系统设计

摘要：

单晶硅的生长过程对环境温度要求严格,单晶炉作为制备单晶硅的设备,其工作状态影响单晶硅的合格率和质量,单晶炉炉体耐受温度在300℃以下,若长时间高于此温度将降低炉体寿命,因此炉体通常配备冷却水系统,炉体冷却系统保持工艺冷却水的状态参数恒定,为炉体降温的冷却水状态直接影响单晶炉寿命及其生产质量.设计一套基于单片机的单晶炉冷却水监测及报警系统,能监测炉体工艺冷却水状态,并具有自动报警、备用切换等功能,较好地满足单晶炉冷却系统的监测要求.

关键词：单晶炉、冷却水、监测及报警

分类号：TQ164;TP273

在线出版日期：2022-04-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：97-99