X光检测机真空频繁报错故障分析

摘要：

某型号X光检测机3天左右就出现一次真空故障.故障现象是设备停止抽真空,导致设备不能正常工作.使用2个同精度等级的高真空计同时测量,测量值差一个数量级.将设备上的高真空计送生产厂家维修调整,使用计量过的高真空计进行对比,找到故障原因是真空计不准,导致设备真空报错.该型号设备真空值(绝对压强值)小于下限设定值会报错.

关键词：X光检测机、真空、故障分析

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2021-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：36-37