10.16621/j.cnki.issn1001-0599.2020.07.28
接触式光刻机汞灯电源功率大幅波动故障处理
某型号接触式光刻机汞灯电源在通道1恒光强模式时,电源功率大幅波动,光的亮度忽明忽暗.使用交换法、恢复参数法找到故障原因,采用合适方法解决故障.
汞灯电源、滤光片、光强传感器、接触式光刻机
TN16(真空电子技术)
2020-08-25(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共2页
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汞灯电源、滤光片、光强传感器、接触式光刻机
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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